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厭氧烘箱(無氧烘箱)

產(chǎn)品詳情

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高溫無氧無塵烘箱主要應用于半導體、新材料涂膠鍍膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜烘( Hard baking),PI聚酷酷胺等膠水的固化工藝,化、酸、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機構。本設備內(nèi)部采用強制對流風道,加熱控制系統(tǒng),配合無氧充氮控制系統(tǒng)及在線式氧含量分析系統(tǒng),結合耐高溫高效過濾HEPA(選配),確保工作室內(nèi)達到無氧無塵的潔凈防氧化環(huán)境。

技術參數(shù)

產(chǎn)品特點:

●外殼:采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板噴塑處理,表面平整、耐刮傷,易清潔。

●內(nèi)膽:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 鏡面不銹鋼材質(zhì)經(jīng)滿焊處理,箱內(nèi)光亮潔凈,密閉性極佳。

●管路:內(nèi)部管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理,確保管路無漏氣滲透現(xiàn)象。

●氮氣控制:雙流量計節(jié)氮系統(tǒng),雙延時充氮控制,無氧、低氧環(huán)境下最大節(jié)省氮氣消耗量。

●保溫層:內(nèi)部采用硅酸鋁巖棉保溫材料,防火、阻燃,采用人工填充,厚度80mm

●溫控器:采用日本富士智能PID溫度控制器,控溫精準,具傳感器斷線報警、超溫保護,偏差修正等功能。

●溫度傳感器:采用進口PT100鉑熱電阻(可選K型熱電偶),精度高,誤差小。

●電熱發(fā)生器:采用不銹鋼黑熱發(fā)生器,壽命長,安全穩(wěn)定,連續(xù)烘烤壽命>10000小時

●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作

●層架:內(nèi)部蛇腹層架結構,層板高度可任意調(diào)節(jié),自由分配箱內(nèi)空間

●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈,防爆安全把手,堅固耐用,易開易關,松緊可調(diào)。

●密封膠條:采用改性硅橡膠材質(zhì),可在高溫環(huán)境下長期連續(xù)使用,耐老化,密封性極佳

●腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動。

可選組件:

●程序升溫:溫度控制系統(tǒng)可升級為可編程多段曲線升溫。

●門控系統(tǒng):電磁鎖確保烘箱加熱過程箱門密閉

●風門調(diào)節(jié)裝置:機械旋鈕式手動風門調(diào)節(jié)/自動控制二者選一。

●氮氣凈化系統(tǒng):微型油水塵埃過濾組mini fulter,可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過濾

●溫度監(jiān)測聯(lián)網(wǎng):可安裝溫度記錄儀,監(jiān)測、記錄、打印、聯(lián)網(wǎng)

●氧含量分析儀:可加配氧含量測試儀,記錄打印

設備型號FO(C)-2FO(C)-3FO (C)-4FO(C)-5FO ( C)-2DFO (C)-3D
控溫范圍50~250°C(最高可訂制500°C)
溫度分辨率0.1℃
溫度波動度±0.5°C
溫度均勻度±1.5%(200C恒溫空載測試數(shù)據(jù))
氧含量<10ppm
潔凈度(選配)選配
內(nèi)寸(mm)W*D*H450*400*500600*500*900800*600*1000800*600*1000(600*600*500)*2箱(400*400*400)*3箱
層架2PCS4PCS
電源AC380V50HZ
功率7KW11KW16KW18KW16KW18KW
定時范圍0~999H/M/S
送風方式單向水平送風
升溫時間RT~250C約25min
控溫方式AD+PID
結構設計單門,控制柜位于頂部多倉,控制柜位于側面
內(nèi)部材料SUS304#
外部材質(zhì)鋼板烤漆/拉絲或鏡面不銹鋼
安全保護措施1.接地保護 2.過載保護 3.相序保護 4.超溫保護  5.獨立限溫保護
選配7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉(zhuǎn)存儲功能,配套PC端軟件及聯(lián)網(wǎng)端口);電磁門禁系統(tǒng)溫度校準,多點溫度監(jiān)控系統(tǒng),非標訂制服務


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