產品簡介:
ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環(huán)風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環(huán)境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
產品特點:
●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE
●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑
●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm
●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%
●壓差計:進口壓差計,監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5%
●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小
●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作
●電熱發(fā)生器:覆套式無塵化電熱發(fā)生器
●風門調節(jié):進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。
●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳
●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯
選配組件:
1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。
2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔
3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環(huán)境不被破壞。
4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監(jiān)控記錄溫度狀況。
5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。
6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制
FDC系列無塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:
產品簡介:
ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環(huán)風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環(huán)境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。
產品特點:
●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE
●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑
●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm
●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%
●壓差計:進口壓差計,監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。
●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5%
●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小
●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環(huán)境下長期穩(wěn)定工作
●電熱發(fā)生器:覆套式無塵化電熱發(fā)生器
●風門調節(jié):進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉
●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。
●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳
●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯
選配組件:
1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。
2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔
3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環(huán)境不被破壞。
4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監(jiān)控記錄溫度狀況。
5.三色指示燈:工作狀態(tài)指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。
6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制
FDC系列無塵潔凈烘箱規(guī)格一覽表:
設備型號 | FDC-2 | FDC-3 | FDC-4 | FDC-5 | FDC-2D | FDC-3D |
控溫范圍 | 50~200℃(最高可訂制400℃) | |||||
溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
溫度波動度 | ±0.5℃ | |||||
溫度均勻度 | ±1.5%(200℃恒溫空載測試數據) | |||||
潔凈度 | class10/100/1000 | |||||
過濾器效率 | H13~H14 | |||||
內部尺寸mm | W600*D500*H600 | W600*D500*H900 | W800*D600*H1000 | W800*D800*H1000 | (W600*D600*H500)*2箱 | (W400*D400*H400)*3箱 |
外部尺寸mm | W950*D1180*H1410 | W950*D1180*H1710 | W1060*D1280*H1810 | W1060*D1480*H1660 | W1630*D1220*H1780 | W1430*D1020*H1880 |
層架 | 2PCS | 4PCS |
電源 | AC 220V 50HZ | AC 380V 50HZ | ||||
功率 | 7KW | 9KW | 12KW | 16KW | 16KW | 18KW |
定時范圍 | 0~99H/M/S | |||||
送風方式 | 單向水平送風 | |||||
升溫時間 | RT~200℃約20min | |||||
控溫方式 | P.I.D | |||||
結構設計 | 單門,控制柜位于頂部 | 多倉,控制柜位于側面 | ||||
內部材料 | SUS304# | |||||
外部材料 | 鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
安全保護措施 | 1.接地保護 2.過載保護3. 相序保護 4.超溫保護 5. 獨立限溫保護 |
選配 | 7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口),φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔 電磁門禁系統(tǒng),溫度校準,非標訂制服務。 |